ZD-500L型立式高真空镀膜机
主要应用于大专院校、科研机构及企业实验室进行真空镀膜等真空处理的工艺研究、样板试制和操作培训。
1.外型结构:采用圆型立式单门开合式结构。真空室尺寸为 500(宽)X 600(高)。真空室、管道及转架采用采用优质不锈钢材料制造。
2.结构功能:真空室内配备一套5KW电子调压蒸发系统。蒸发载体采用钨丝,蒸镀采用主要是铝丝,镍、铬、铜、锡、不锈钢、铟等材料也可以蒸镀。配备一套公转架,采用电磁电机无级变速。
3.机组配置:配备K-200机组。其中包括 K-200凸腔油扩散泵一台、2X-15升旋片泵一台。
4.电控功能:采用 手动/自动 2种控制形式。配清华大学产的数显式复合真空计。
5.抽真空周期:从大气到5 x 10–²帕不大于6分钟,到2 x 10–²帕不大于10分钟。
设备分实用型和豪华型:
一.实用型:
基本结构如上:控制手段方面采用PLC程序控制器自动控制,整个生产过程各步骤都设定保护程序,保证生产绝对安全。电柜面板采用丝印磨沙铝板,使设备外观美观大方。
二.豪华型:
结构与实用型相同,不同的是:电器元件及电磁换向阀采用进口电器元件。转架转动采用变频器控制。配备触摸屏,PLC控制程序及触摸屏控制程序采用先进的多项目配方式控制管理可由用户自行设定多组蒸发控制数据并可在各组数据间自由转换;可更方便使用者在实验中稳定选取各数据;使设备使用更舒适外型美观.