【卖】Zeta200自动三维测量系统

Zeta 200自动三维测量系统
Zeta 200是集多种测量手段于一身的高级表面测量系统。它功能配备齐全，使用方便，是三维测量系统中性能价格比最优的选择。Zeta 200能够自动采集样品上多点的工艺参数，如台阶高度、体积、尺寸及粗糙度等，为您提供监管及优化生产流程所需的数据。
•　　自动多点、多配方测量样品
•　　200毫米x200毫米XY轴驱动范围
•　　粗糙表面成像与分析
•　　金属栅线形状与尺寸测量
•　　防反射膜及光刻胶厚度分析
•　　真空吸盘保证样品定位一致
•　　本色三维成像
•　　　台阶高度，线与面粗糙度、角度及尺寸测量
Zeta 200特色功能
1.多点测量　　用户可按其所需设置每片样品上的采样点数——少许几点往往适用于快速检测，多点则可用于详细分析。
2.大面积成像　 Zeta 200可自动按次序对多个视场进行成像，然后由软件拼接成一张大面积的样品表面三维图像。
3.自动形貌特征测量　　用户可设置操作配方对样品的各种指定形貌特征如尺寸、间距、高度甚至整片样品的弧度等进行自动测量。