【卖】激光掺杂机

应用领域及用途：
晶体硅太阳能电池选择性扩散（LDSE），激光掺杂机是一款在太阳能电池制作过程中用来作选择性重掺提高太阳能电池效率的专用激光设备。利用激光将电池片表面磷源作选择性掺杂形成重掺杂区以降低欧姆接触，结合前道工序的轻掺杂发射结和后道工序的电镀或丝印工艺形成栅极以达到提高电池效率和带负载能力的功效。
设备特征：
两工位、六工位、12工位全自动平台
可配备自动化装卸系统
激光功率自动监测
破片自动检测，碎片率<2‰
加工速度＞5m/s
扩散深度＞0.6um
适用硅片单晶/多晶 125mm×125mm/156mm×156mm硅片