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氯化铁
　　1) 机理： FeCl3 Cu→FeCl2 CuCl
　　FeCl3 CuCl→FeCl2 CuCl2
　　CuCl2 Cu→2 CuCl
　　2) 影响速率的因素：
　　a、Fe3 浓度的影响：Fe3 的浓度对蚀刻速率有很大的影响。蚀刻液中Fe3 浓度逐渐增加，对铜的蚀刻速率相应加快。当所含超过某一浓度时，由于溶液粘度增加，蚀刻速率反而有所降低。
　　b、温度的影响：蚀刻液温度越高，速率越快，温度的选择应以不损坏抗蚀层为原则，一般在40~50℃为宜。
　　c、盐酸添加量的影响：在蚀刻液中加入盐酸，可以抑制FeCl3水解，并可提高蚀刻速率，尤其是当溶铜量达到37.4g/L后，盐酸的作用更明显。但是盐酸的添加量要适当，酸度太高，会导致液态光致抗蚀剂涂层的破坏。
　　d、蚀刻液的搅拌：静止蚀刻的效率和质量都是很差的，原因是在蚀刻过程中在板面和溶液里会有沉淀生成，而使溶液呈暗绿色，这些沉淀会影响进一步的蚀刻。