【卖】RTS-4数字式四探针测试仪

测量范围
　　　　　电阻率：0.001～200Ω.cm(可扩展)；　
　　　　　方块电阻：0.01～2000Ω/□(可扩展)；
　　　　　电导率：0.005～1000 s/cm；
　　　　　电阻：0.001～200Ω.cm；
可测晶片直径
　　140mmX150mm(配S-2A型测试台)；
　　　　　 200mmX200mm(配S-2B型测试台)；
　　　　　 400mmX500mm(配S-2C型测试台)；
恒流源
　　电流量程分为0.1mA、1mA、10mA、100mA四档，各档电流连续可调
数字电压表
　　　　　 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
　　　　　 分辨力：10μV；
　　　　　 输入阻抗：>1000MΩ；
　　　　　 精度：±0.1% ；
　　　　　 显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标
　　间距：1±0.01mm；
　　　　　 针间绝缘电阻：≥1000MΩ；
　　　　　 机械游移率：≤0.3%；
　　　　　 探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
　　　　　 探针压力：5～16 牛顿(总力)；
模拟电阻测量相对误差　　 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
( 按JJG508-87进行)