RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的,专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、测试台、PC机等部分组成, 测量数据既可由主机直接显示,亦可由计算机采集,把采集到的数据在计算机中加以分析,然后把测试数据以表格,图形直观地记录、显示出来
仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
1. 测量范围
电阻率:10-4-105 Ω.cm
电导率:10-5-104 s/cm
方块电阻:10-3-106 Ω/□(可扩展)
电阻:10-4-105 Ω
可测晶片直径: 140mmX150mm(配 S-2A型 测试台)
Φ200mm(配 S-2B型 测试台)
400mmX500mm(配 S-2C型 测试台)
2. 数字电压表
量程及表示形式:000.00-199.99 mV
分辨力:10 μV
输入阻抗:> 1000 MΩ
精度: ±0.1%
显示:四位半红色发光管数字显示;极性、超量程自动显示
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