【卖】真空分子泵

技术数据 TYFB-600复合分子泵 TYFB-1200复合分子泵 TYFB-1600复合分子泵
高真空法兰（mm） 150CF 160ISO-K 200CF 200 ISO-K 250CF 250 ISO-K
前级管道法兰（mm） 40KF 40KF 50KF
抽气速（L/S） 600 1200 1600
压缩比 N2 >109 >109 >109
H2 >8×103 >1×104 >1×104
极限压强（Pa）帕 <8×10-8<5×10-7 <8×10-8<5×10-7 <8×10-8<5×10-7
电机转速（n/min） 24000 24000 24000
振动值 ≤0.1μm ≤0.1μm ≤0.15μm
启动时间（min） <4.5 <4.5 <6
建议采用的前级泵 4—8 L/S 8—15 L/S 15 L/S
冷却方式 水冷（风冷） 水冷（风冷） 水冷（风冷）
风冷泵环境温度 ≤25℃ ≤25℃ ≤25℃
水冷泵冷却水温度 ≤20℃ ≤20℃ ≤20℃
水冷冷却水流量（L/min） 1 1 1
泵体烘烤温度 <120℃ <120℃ <120℃
加热器功率（W） <550 <600 <700
加热器输入电压（V） AC220 AC220 AC220
安装方向 垂直±5° 垂直±5° 垂直±5°
泵重量（kg） ≈29 ≈34 ≈39