【卖】激光干涉仪ZLM700

在德国，Jena地区以生产蔡司光学产品而闻名。位于该地区的耶拿尔JENAer公司生产的ZLM700/800双频激光干涉仪在同类产品中，由于具有独特的性能优势和简单的操作方法而久负盛名。由本公司代理，德国耶拿尔JENAer公司生产的双频激光干涉仪，是世界上唯一一家将顶级的蔡司光学镜用于激光干涉仪领域的制造商。该公司的双频激光干涉仪，不仅能够精确的测量数控机床的几何量，如线性度、直线度、垂直度、角度、平面度等，通过配合使用球杆仪，还能够测量数控机床的回转量。
ZLM系列双频激光干涉仪采用模块化设计和可调型ASIC元件，用户可以根据测量目的的不同，选择不同的反射镜和辅助元件，以完成各种测量和控制任务。
ZLM700双频激光干涉仪主要用于单轴系统的校准和测量，ZLM800干涉仪可从单轴拓展为多轴，广泛应用于高速动态加工工艺中的机械定位和系统控制。它能够完全计算出机械设备的运行轨迹，并通过WINDOWS™软件按用户设定的方法对其进行分析。
配用高性能蔡司光学镜头，ZLM70/800双频激光干涉仪可以完成以下各种测量工作：

位置测量、机械定位
位移测量
速度测量
加速度测量
角度测量（俯仰角、偏摆角、滚动角）
振动度测量
直线度测量
矩形测量（垂直度测量、平行度测量）
平面度测量
同心度测量
对工具和仪器进行校正


工作原理

专利型ZLM700/800激光干涉仪使用氦氖激光器，采用双频外差式工作模式。激光稳频精度为0.002ppm，640MHz的频差经四倍后用于信号处理。这种高频处理信号能够对高速物体进行测量，不会出现干扰误差，信号延时时间极短。
采用光纤电缆，把来自干涉镜的信号传输到计算机卡槽连接的电子计数器上，避免了外部电磁环境对测量信号的干扰。因此，ZLM700/800双频激光干涉仪特别适用于恶劣的生产环境、标准化实验室和高真空环境。
除了计算机卡槽接口外，还可以使用其他独立的电子装置进行数据处理，包括各种接口，用于数据输出和连接成为一个控制环路。ZLM800型干涉仪可以拓展为六轴测量。

性能要点　被测物体最大速度16m/s；
无干扰误差时的分辨率2.5nm（使用平面干涉镜时的误差为1.25nm）；
无加速度限制；
当光线微弱时，性能也十分稳定；
信号延时<200ns；
激光器寿命内，频率信号稳定；
对电磁干扰不敏感；
使用超级蔡司光学元件。
　　

产品的可靠性

世界范围内，ISO9000/9004已经被广泛应用于各种质量保证体系。这就要求认证的企业必须按照相关要求对生产工艺和控制过程进行严格的管理。Jenaer公司就是采用这样质量管理体系的公司。
测量结果的可靠与否取决于测量的工具、测量方法和操作者。测量系统的校正误差会极大影响测量的结果的准确性。


本公司的双频激光干涉仪可以通过软件来减小测量系统的校正误差。把两个四象限传感器置于激光器内，一个用于测量光束，另一个用作参考光束，从而保证了以最优的方式来校正干涉系统与被测物体。由于使用大屏幕显示，系统校正会非常灵敏，从而方便校正。
使用软件校正的优点

通过屏幕显示来校正系统的精度，能够节约设定时间；
激光器的校正是一个精细的过程，即使对最复杂的测量任务也能胜任；
能过保证校正结果的最高性能。


智能化测量的方法


　
ZLM700/800的信号处理电路采用可调的ASIC元件。ZLM系列双频激光干涉仪针对不同的测量目的，采用不同的控制信号，以完成各种测量工作。
ZLM700/800双频激光干涉仪可以连接外部计数系统，它使得被测设备和激光干涉仪之间的比较变得更为方便，节约过程时间。这一过程使用实时耦合信号，使得数据分析能够满足德国和世界标准。
数据分析处理的标准
VDI / DGQ 3441
DIN / ISO 230
VDI / VDE 2617
NMTBA


精准的测量方法

　　　即使是标准配置，ZLM700/800双频激光干涉仪的分辨率也能够达到5nm，测量精度优于1 µm/m。这就需要使用AUK500自动环境补偿器（俗语：气象站）来提供环境温度的一些参数，通过参数补偿，使其环境指标达到实验室测量的标准。

　　　ZLM700/800双频激光干涉仪使得测长机械和比较器的校正变得更为简单。　　空气环境对测量结果的影响可以通过使用AUK500环境自动补偿器来修正，也可以手工输入来修正。最多可连接五个材料温度传感器对所测物体的温度进行补偿