【卖】硅片甩干机
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CSE.硅片甩干机设备概述:硅片甩干机是由该系列机型具有高洁净度旋转冲洗甩干功能。主要用于硅圆片、掩模版、太阳能电池等类似材料的冲洗甩干。1•甩干机机型 双工作腔结构，最大加工片子直径φ150mm。S为双片盒结构.2•系统构成整机采用双工位（或单工位）层叠、积本式组合结构，每个工位可独立运行互不干扰。能实现包括旋转冲洗、氮气烘干、电阻率监控、防静电控制、腔体干燥、故障显示报警、系统洁净化处理在内的全自动工艺处理过程。3•结构原理与特点（1）洁净化处理技术 ⑵ 大功率无刷电机驱动⑶ 清洗工作腔体 ⑷ 转轴氮气密封技术⑸ 去离子水控制 ⑹ 防静电控制⑺ 防震、隔震技术 ⑻ 测速、计数控制技术⑼ 制动控制技术 ⑽ 系统控制技术⑾ 工艺处理软件 ⑿ 颗粒控制性能⒀ 安全及防护处理 ⒁ 门位置状态监控与互锁⒂ 生产技术查看详细内容>>
公司联系信息
| 公司名称: | 苏州华林科纳半导体设备技术有限公司 |
| 联系地址: | 昆山石牌瑞安路空港工业园 |
| 省份城市: | 江苏省苏州 |
| 电话区号: | 0512 |
| 联系电话: | 0512, 50175920 |
| 联 系 人: | 徐小姐 |
| 发布日期: | 2010年11月26日 |
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