【卖】-135℃水汽捕集泵

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-145℃水汽捕集泵　 -145℃ Water vapor cryopump

应用原理:

　　在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体，80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽，但其抽除残余气体的能力低，时间长，而且所有残余气体还是工件的污染源，从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
　　深冷泵的工作原理：将一个能到-120℃以下的制冷盘管，放置在真空室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60-90%的抽气时间）、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8 Torr、10-5 Pa)。
在实际应用当中，根据所放的位置不同可以分为两类（见图）：


1、水汽捕集器
　　它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。　
2、低温冷阱
　　放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装置。
根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装.

































　　本公司研发生产的-145℃深冷水汽捕集泵，采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口名牌压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产，替代液氮，节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点，其性能指标在国内处于领先地位，达到甚至超过国际先进水平。
　


主要的性能特点
1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%；
2、降温迅速，3分钟内制冷到-120℃，最低可到-150℃；
3、2分钟热气除霜，迅速回温，5分钟可再降温;
4、一台设备可设计两路负载输出；
5、进口压缩机，环保混合型制冷剂;
6、完善的自动化控制；
7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温　度显示；
8、当待机温度到达后有指示灯提示，可以开始制冷；
9、除霜温度自由设定；
10、具有水温温度、排气温度显示；
11、缺水、水温过高报警；　
12、压缩机排气过高、压力过高保护；
13、电源断电、缺相报警；
14、可本地、远程控制自由转换；
15、R232计算机数据接口，计算机可读取温度数据及控制。





-145℃水汽捕集泵　　　　 -145℃ Water vapor cryopump
型 号　　TH-145-3P　　TH-145-5P　　TH-145-7P　　TH-145-10P　　TH-145-12P　　TH-145-15P
压缩机功率(KW)　　2.8　　4.6　　6.3　　8.5　　10.1　　12.3
工作温度（℃）　　-120℃至-150℃
抽气速度（l/s）　　30600　　51000　　73,000　　101,000　　153,000　　250,000
制冷量（W）　　300　　500　　1200　　1800　　2500　　3500
冷凝管表面积(m2)　　0.15　　0.3　　0.5　　0.7　　1.0　　2. 0
冷凝管长度　　8m,φ6mm　　10m,φ10mm　　12m,φ12mm　　14m,φ16mm　　24m,φ16mm　　40m,φ16mm
预冷时间（min）　　≤30　　≤30　　≤30　　≤30　　≤40　　≤40
降温时间（min）　　≤5　　≤5　　≤5　　≤5　　≤6　　≤7
除霜时间(min)　　≤3　　≤3　　≤3　　≤3　　≤3　　≤3
再降温时间(min)　　≤5　　≤5　　≤5　　≤5　　≤6　　≤6
适用油扩散泵径（mm）　　≤300　　≤500　　≤800　　≤1000　　双路输出　　双路输出
冷却方式　　风冷、水冷(t≤30℃)　　水冷(t≤30℃)　　水冷(t≤30℃)　　水冷(t≤30℃)　　水冷(t≤30℃)
适用腔体直径（mm）　　≤900　　≤1300　　≤1500　　≤1700　　≤2000





















冷凝盘管的制作
根据设备的实际情况，我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。






　　















输入、输出的接口
冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时，由于管道温度与腔壁温差较大，如果直接焊接，冷量将会有较大损失，腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决，它可以做成活口（见图），也可以不用密封垫，直接焊接到真空腔壁。