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清洗机
用于各尺寸硅晶片的腐蚀清洗;
※ 清洗规格:2 inch ,4 cassette/Batch, 25 Pcs/cassette; 4 inch,2 cassette/ Batch,25 Pcs/cassette;
※ 工艺说明:手动方式实现放件,取件,槽体间传送件。
※ 设备形式: 室内放置型。
※ 腐蚀工艺自动补药液保证了工艺槽在运行过程中浓度的稳定性;
※ 工艺参数(温度,时间,DIW水清洗模式、时间可调)手动由触摸屏界面可设定;
※ 机台前方为清洗工作区域,机台后上方为电器和气路布置区域,后下方为液路布置区域。
※ 药液供给及补液方式: 分体式CDS自动供液系统
※ DI槽配有在线式水质检测装置;
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清洗机
生产厂家
公司联系信息
公司名称:
北京华林嘉业科技有限公司
联系地址:
北京市通州区宋庄镇后夏工业区
省份城市:
北京市北京市
电话区号:
010
联系电话:
010-52112445
联 系 人:
耿彪
电子邮件:
gengbiaoQ@cgbtek.com
网 址:
http://www.cgbtek.com
发布日期:
2011年12月27日
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