日本SSD除电装置ISX-224,光照射除电装置ISX-224,ISX-224青岛现货
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SSD 光照射除电装置 ISX-224
China mro供应 SSD 光照射除电装置 ISX-224,光照射除电装置 ISX-224,ISX-224,
产品特点:
? 对于一般大气中晶圆(wafer)等带电电位衰減至1/10,於1S以內的短时间內除电。
? 与瓦斯的流动狀态无关,可获得安定的除电性能。由于被光照射到的空间內广范围地將瓦子化,因此,即使除电对象物附近存在不穩定的气流,也不影响除电性能。
? 平常完全不须维护,仅需依软X线管头的耐用期限(8000h)更换即可。
? 由于正负离子及电子平均分布于空间內,因此除电对象物的残留电位可定为0V。
? 由于光直接离子化,因此,在大气压下,在 N2、Ar等