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低温捕集泵工作原理：将能到-130℃以下的制冷盘管，放在真空
室中或油扩散泵的泵口，通过其表面的低温冷凝效应，迅速捕集真空系统
的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间（可缩短60—90%的抽气时间）
、获得洁净的真空环境（真空度可提高半个数量级，达到10-8Torr、10ˉ
5Pa）。
主要适用于物理（化学）气相沉积镀膜、真空蒸发镀膜、磁控溅射镀膜
离子镀膜等真空镀膜设备,光学镀膜、卷绕镀膜等各种功能镀膜或装饰镀
膜系统。可以在真空室内抽吸水汽，也可以用于冷阱等冷却装置防止扩散
泵返油。
1、水汽捕集器：
　　它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜
上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较
大的场合。盘管需要有加热除霜装置，使盘管每次开门之前恢复到常温，
避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜，影响下次抽真空。
2、低温冷阱：
　　放在油扩散泵的泵口，高阀以下，它主要功能是防止油扩散泵返油，
同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态，无需除霜装
置。
　　 根据需要,二者可以分